Jak osiągnąć idealnie płaskie wafle krzemowe 14, 10 i 7 nm? Proces polerowania i dodatkowe zabiegi

Wed Jan 13, 2016 10:54 pm   

14, 10, 7nm. Jak oni to robia? Jakies dodatkowe zabiegi sa wykonywane po polerowaniu aby uzyskac idealnie plaskie powierzchnie?

Thu Jan 14, 2016 8:24 am   

W dniu 2016-01-13 o 21:54, ucy193@gmail.com pisze:

Polerowanie to już od bardzo dawna nie wystarcza - warstwa epitaksjalna
plus wygrzewanie, ale to było dawno temu. Co teraz - w sumie pewnie to
samo, tylko bardziej kontrolowane warunki. Może jeszcze podtrawiają trochę.

Pozdrawiam

DD